اولین پمپ خلاء در سال ۱۶۵۰ میلادی توسط Otto von Guericke اختراع شد. او این پمپ را با استفاده از دو نیمکره مسی و ایجاد خلاء بین آن‌ها به نمایش گذاشت و نشان داد که حتی با وجود نیروی هشت اسب بخار، نمی‌توان این نیمکره‌ها را از هم جدا کرد. این اختراع، نقطه عطفی در شناخت بشر از پدیده خلاء بود. 

پس از اختراع اولیه، رابرت بویل و رابرت هوک طرح اولیه گریکه را بهبود بخشیدند و آزمایشاتی را در مورد خواص خلاء انجام دادند. پمپ های خلاء در طول تاریخ تکامل یافته و امروزه در کاربردهای مختلفی از جمله مصارف خانگی، پزشکی، و صنایع پتروشیمی مورد استفاده قرار می‌گیرند. 

به طور کلی، پمپ خلاء دستگاهی است که با حذف مولکول‌های گاز از یک حجم بسته، خلاء جزئی ایجاد می‌کند. این دستگاه با ایجاد اختلاف فشار، مولکول‌های هوا و گاز را از محفظه خارج می‌کند.