پمپ خلاء یونی (Ion Vacuum Pump) یک نوع پمپ خلاء است که برای ایجاد خلاء بالا و خیلی بالا، به ویژه در محدوده ۱۲- ۱۰ میلی بار، استفاده می‌شود. این پمپ با یونیزه کردن گازها و جذب یون‌های ایجاد شده عمل می‌کند و به همین دلیل به آن پمپ یونی می‌گویند. پمپ‌های یونی در دسته پمپ‌های اشباعی قرار می‌گیرند، به این معنی که گازهای تخلیه شده در داخل پمپ باقی می‌مانند و پس از مدتی نیاز به تخلیه و تمیز کردن دارند.