نیرویی که باعث حرکت دیافراگم می‌شود، می‌تواند الکتریکی، پنوماتیک یا هیدرولیکی باشد. 

برخلاف برخی از پمپ‌های خلاء دیگر، پمپ‌های دیافراگمی خشک نیازی به روغن ندارند، بنابراین برای کاربردهایی که نیاز به خلاء تمیز دارند، مناسب هستند. 

این پمپ‌ها معمولاً مصرف انرژی کمتری نسبت به سایر انواع پمپ‌های خلاء دارند. 

این پمپ‌ها در مقایسه با برخی از انواع دیگر پمپ‌های خلاء، صدای کمتری تولید می‌کنند. 

با نگهداری صحیح، پمپ‌های دیافراگمی می‌توانند طول عمر بالایی داشته باشند. 

در پمپ‌های دیافراگمی خشک، از روغن استفاده نمی‌شود و در نتیجه بخارات روغن وارد سیستم نمی‌شود. 

این پمپ‌ها در صنایع مختلف از جمله آزمایشگاه‌ها، صنایع دارویی، غذایی و شیمیایی کاربرد دارند. 

برای رسیدن به خلاء با فشار بسیار پایین استفاده می‌شوند. 

برای فیلتراسیون، تبخیر، گاززدایی و سایر کاربردهای آزمایشگاهی. 

برای خشک کردن، فیلتر کردن و سایر فرآیندهای مرتبط با داروها. 

برای بسته بندی، فرآوری و سایر کاربردها. 

برای انتقال مایعات خورنده، فرآیندهای تبخیر و سایر کاربردها.