قطعات پمپ وکیوم بسته به نوع و مکانیزم عملکرد پمپ، متنوع هستند. با این حال، برخی از قطعات اصلی در اکثر پمپ‌های وکیوم مشترک هستند. این قطعات شامل موارد زیر می‌شوند:

۱. بدنه پمپ (Housing): محفظه اصلی که سایر اجزا در آن قرار دارند و وظیفه نگهداری و محافظت از قطعات را بر عهده دارد.

۲. روتور (Rotor): قطعه‌ای چرخنده که با چرخش خود، گازها را به دام انداخته و به سمت خروجی هدایت می‌کند.

۳. پره‌ها (Vanes): قطعاتی که معمولاً روی روتور نصب شده و وظیفه ایجاد خلاء را بر عهده دارند. در پمپ‌های رینگ مایع، پروانه (Impeller) نقش مشابهی را ایفا می‌کند.

۴. سیلندر (Cylinder): محفظه‌ای که روتور و پره‌ها در داخل آن قرار دارند و عملیات مکش و تخلیه در آن انجام می‌شود.

۵. الکتروموتور (Electric Motor): منبع تأمین انرژی برای به حرکت درآوردن روتور و پره‌ها.

۶. فیلترها (Filters): فیلتر روغن و فیلتر سپراتور برای تصفیه و جداسازی روغن از گاز و هوا.

۷. شیرها (Valves): شیرهای ورودی و خروجی برای کنترل جریان گاز و مایعات.

۸. یاتاقان‌ها (Bearings): برای کاهش اصطکاک و پشتیبانی از چرخش روتور.

۹. آب‌بندها (Seals): برای جلوگیری از نشت روغن و گاز.

۱۰. درجه نشان دهنده میزان روغن (Oil Gauge): برای نمایش سطح روغن در محفظه. 

۱۱. دریچه گاز بالاست (Gas Ballast Valve): برای جلوگیری از ورود بخار و گازهای فشرده به محفظه پمپ. 

۱۲. صفحه دوشیار (Dual-slot Plate): در پمپ‌های وکیوم رینگ مایع برای هدایت آب و ایجاد رینگ مایع.