کاهش تنش‌های داخلی قطعه، افزایش شکل‌پذیری، بهبود خواص مغناطیسی و جلوگیری از اکسیداسیون و تغییر رنگ در حین عملیات حرارتی. 

• کیفیت بالاتر: حذف یا کاهش اکسیداسیون و آلودگی‌های سطحی، منجر به افزایش کیفیت سطح و کاهش نیاز به عملیات تکمیلی می‌شود. 
• یکنواختی بیشتر: توزیع یکنواخت‌تر دما در محیط خلاء، منجر به آنیلینگ یکنواخت‌تر قطعه می‌شود. 
• کاهش عیوب: جلوگیری از تشکیل حباب و تخلخل در داخل قطعه. 

• آنیل کردن فولادهای ابزار، فولادهای زنگ نزن، آلیاژهای تیتانیوم و سایر فلزات حساس به اتمسفر. 
• آنیل کردن قطعاتی که نیاز به تحمل بارهای دینامیکی و ضربه دارند. 

افزایش سختی و استحکام قطعات فلزی، با استفاده از فرآیندهای کوئنچینگ و تمپرینگ در خلاء. 

• جلوگیری از اکسیداسیون: خلاء از واکنش فلز با اکسیژن جلوگیری می‌کند و سطح صاف و تمیزی را ایجاد می‌کند. 
• کاهش اعوجاج: کاهش یا حذف کامل اعوجاج قطعه در حین کوئنچینگ. 
• افزایش عمر قطعه: بهبود خواص مکانیکی و کاهش احتمال شکستگی قطعه. 

• سخت کاری فولادهای ابزار، فولادهای پرسرعت، آلیاژهای آلومینیوم، تیتانیوم و سایر فلزات مهندسی. 
• ساخت قطعاتی که نیاز به سختی بالا، استحکام بالا و مقاومت در برابر سایش دارند.